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真空泵气体微流量表静态比拟法

发布时间:2013-12-23 标签:

真空泵要是出现真空漏孔该怎么进行校准呢?下面小编就为大家先容一种气体微流量表静态比拟法,想了解的朋友来了解一下吧。
  首先顺次将真空漏孔流出的气体QL和气体微流量表流出的气体Q,别离引人到一个真空室中,再经过限流孔被真空泵抽走,比拟它们在真空室中产生的静态失调压力输入信号(别离为HL和Hs),而后用式划算出真空漏孔的漏率。
  其实这种方式还是比较简单的,大家要是可以的话不妨就试试哦,相信会对大家有帮助的。
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