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真空泵的测量方式

发布时间:2014-9-25 标签:真空泵

  真空泵的测量方式:
      

真空泵


  1.热偶真空计
  利用热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
  2.电离真空计
  由筒状收集极,栅网和位于栅网中心的灯丝构成,筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子,离子被收集极收集,根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
  3.复合真空计
  由热偶真空计与热阴极电离真空计组成,测量范围从大气~10-5Pa。
  4.冷阴极电离计
  阳极筒的两端有一对阴极板,在外加磁场作用,阳极筒内形成潘宁放电产生离子,根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。
  5.电阻真空计
  利用加热元件的电阻与温度有关,元件的温度又与气体传导有关的原理,通过电桥电路来测量真空度的真空计。
  6.麦克劳真空计
  也成为压缩式真空计,将待测的气体用汞压缩到一极小体积,然后比较开管和闭管的液柱差,利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种绝对真空计。
  7.电容薄膜真空计
  这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝,放在栅网中心,灯丝放在栅网外面,因而减少软X射线影响,延伸测量下限,可测超高真空。
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