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分子真空泵结构特点

发布时间:2012-12-20 标签:真空泵

泵腔内有可旋转的转子,转子的四周带有沟槽并用挡板隔开。每一个沟槽就相当于一个单级分子泵,后一级的入口与前一级的出口相连。转子与泵壳之间有 0.01mm 的间隙。气体分子由入口进入泵腔,被转子携带到出口侧,经排气管道由前级泵抽走。牵引分子泵的优点是起动时间短,在分子流态下有很高的压缩比,能抽除各种气体和蒸汽,特别适于抽除较重的气体。但同于它自身的弱点:抽速小,密封间隙太小,工作可靠性较差,易出机械故障等,因此除特殊需要外,实际上很少应用。曾一度被结构和制造简单,抽速大的扩散泵所代替。
   就是在油扩散泵开始得到广泛应用的时代,人们在牵引分子泵的结构改进方面仍然做了许多工作。如 Holweck 、 Siehbahn 、 Gondet 等先后对 Gaede 型分子泵做了许多改进,提出了很多不同结构的新型牵引分子泵。但由于其结构仍较复杂,抽速低,因此未能得到广泛应用。
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