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真空机组中前级泵和预抽泵的配置

真空机组中前级泵和预抽泵的选择是非常重要的,错误的选择会影响整个工作的流程,甚至会造成很大的经济损失。

配前级泵

前级泵直接影响主泵性能,影响真空系统的抽气时间和经济效益。在真空系统中气体处于稳定流动状态时,则整个管路上劝拿诺缱佑蜗菲教ㄍ救截面的气流最是相等的。故管路上串联的各泵在单位时间内所抽走的气体也是相等的。但是,管路系统各截面的气压并不相等,各截面的抽速也就不相同。因此,配前级泵的要求是

①保证始终及时地排出主泵所排出的气体流量;

②在主泵出口处造成的压强低于主泵的最大排气压强;

③如果前级兼作预抽真空泵,则还要满足预抽时间和预抽真空度的要求。

配预抽泵

有些主泵,如钛泵和低温泵之类,只需要预抽泵先抽到预备真空,然后就自己独立工作,而不需要前级泵。这种系统的预抽泵抽速,是将真空室在(一般为10~15min)时间内抽到所要求的预真空度的抽速。

另一些主泵,如扩散泵和增压泵,它们既需要前级泵,也需要预抽泵。这时,可将两个抽速进行比较,倘若预抽泵抽速不大于前级泵抽速,则前级泵可兼做预抽泵.不然,则需补设一台预抽真空泵。这台补设的预抽泵的抽速,为前述两抽速之差。

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