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抽除有害气体与无油清洁真空的获得

无油真空泵是现在各行业中发展的一种趋势,虽然价格稍微高些但后期的回报是非常可观的,上海飞鲁真空泵厂生产的无油涡旋真空泵获得了国家专利,真空度能达到8pa~10pa,是国家重点实验室的最佳选择。
目前半导体、平板显示、太阳能光伏电池以及化学工业的发展极为迅速,对真空获得技术提出了新的十分苛刻的要求。
要求抽除有害气体,即有毒、易燃、易爆及腐蚀性气体。在抽气过程中,这些气体会与泵油相混合,而导致泵油变质劣化。另外在工艺过程中,其化学反应所产生的生成物及颗粒副产品,也会给泵的正常工作带来不利影响。所以要求真空行业提供能顺利抽除有害气体和颗粒的无油干式的真空系统。
在半导体、平板显示等领域,传统的有油真空系统已经不允许使用,因为这种系统所产生的碳氢化合物会严重影响产品最终的性能质量,所以要求真空行业能提供可获得清洁无油的真空产品。

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