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油扩散泵的发展趋向特点


(1)采用饱和蒸气压低,性能好的新工作液,以提高泵的极限真空。如聚苯醚、聚乙烯醚等。现在普遍使用的是硅油。

(2)改进结构,提高抽速。

(3)降低泵的反油率。例如在挡板敷聚四氟乙烯可使返油率大为减少。

(4)缩短泵的启动时间。

(5)扩大抽气工作压强范围,国外在0.4~10-8Pa之间,抽速不变。

(6)提高最大反压强,国外较好的泵排压在79.99-106.66Pa之间。

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